（一）一般規(guī)定
1、特種設(shè)施的安裝施工，應符合下列規(guī)定：
（1）相關(guān)的土建工程己驗收合格，并辦理交接手續(xù)。
（2）應按工程設(shè)計文件和相關(guān)設(shè)備出廠技術(shù)說明要求進行安裝。
（3）各種設(shè)備及其附件、材料（包括填充材料）已進行現(xiàn)場檢查、檢驗，并應符合工程設(shè)計和設(shè)備技術(shù)要求。認真并進行進場記錄。
2、對氣密性、滲漏性控制嚴格的特種設(shè)施的設(shè)備、附件等，安裝前應嚴格檢查密封狀況，若發(fā)現(xiàn)異常，應與供貨商共同檢查，經(jīng)確認不影響使用功能后才能進行安裝。
3、對特種設(shè)施的承壓設(shè)備、附件，應具有壓力試驗、無損探傷等有效檢驗合格文件。無合格文件者，不得進行安裝。
4、有爆炸危險或有毒的氣體、液體、有機溶劑等相關(guān)的設(shè)備、附件，應具有有效檢驗的合格文件，不符合規(guī)定者不得進行安裝。
5、分類、分系統(tǒng)進行安裝質(zhì)量驗收，一般宜與供應系統(tǒng)的試運轉(zhuǎn)結(jié)合進行。
6、有防靜電接地要求的設(shè)施，在安裝就位或系統(tǒng)管道安裝完成后進行可靠接地。
（二）高純氣、特種氣體供應設(shè)施的安裝
1、管路系統(tǒng)的試運轉(zhuǎn)應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。
2、高純氣體、特種氣體供應設(shè)施安裝前，應按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書或合約的要求，檢查設(shè)備（包括填充的純化材料等）、閥門和管件的完整性、密封性，并作檢查記錄。
3、純化設(shè)備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規(guī)定：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）前，應進行認真的清潔，符合要求后從規(guī)定的設(shè)備搬入口運入。
（2）整體設(shè)備搬運時，應按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并可靠固定。
（3）設(shè)備就位時，應按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書要求，準確做好接管、接線定位。
（4）就位后，水、電接口應按工程設(shè)計文件要求連接。
（5）氣體管道接口，應在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運轉(zhuǎn)合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝，應符合下列要求:
（1）檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并作好記錄。
（2）安裝位置應按工程設(shè)計文件、產(chǎn)品說明書要求進行，并檢查接管、接線方位的正確性。
（3）氣體管道接口，應在所在系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設(shè)施施工安裝試運轉(zhuǎn)的純度測試，應符合下列要求：
（1）純度測試介質(zhì)，宜采用工作氣體進行。
（2）測試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計壓力相同。
（3）測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量嚴格且距離長的用氣設(shè)備處。
（4）純度測試過程，取樣時間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應的精度等級的儀器進行分析。
（5）當測試氣體的進、出口的純度及其雜質(zhì)含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時，即認為純度測試合格。
6、管路系統(tǒng)的試驗應符合下列要求：
（1）高純氣體、特種氣體供應設(shè)施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力，均應按工程設(shè)計文件要求。
（2）試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強度試驗壓力后，保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格。
（3）氣密性試驗合格后，進行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時，系統(tǒng)以設(shè)計壓力保持24h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。采用氦氣為試驗氣體時，系統(tǒng)以設(shè)計壓力保持1h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因并進行完善后，再進行泄漏量試驗，直至合格為止。
（4）管路系統(tǒng)的試驗，一般均不包含純化設(shè)備、特氣柜和閥門箱等。
7、管路吹掃應符合下列要求：
（1）應按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進行吹掃。
（2）管路系統(tǒng)應采用0.3.0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進行吹掃，吹掃氣體應設(shè)置過濾精度嚴于0.31tm氣體過濾器去除微粒；對輸送可燃氣體的管路宜采用純氮吹掃。
（3）在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查，以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路系統(tǒng)，應以排出口吹掃氣體中含氧量小于1％為合格。
（三）純水供應設(shè)施的安裝
1、純水供應設(shè)施安裝前，應按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書或合約的要求檢查、核對設(shè)備（包括填充的材料、元件等）、閥門和管件的完整性、密封性，并作好檢查、核對記錄。
2、純水管道及其閥門、附件的材質(zhì)，應按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品生產(chǎn)要求進行選擇。
3、單體設(shè)備的搬運、就位應符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）內(nèi)的單體設(shè)備，應進行認真清潔后才能搬入。
（2）裝有填料或元件的單體設(shè)備，應按要求的方向進行搬運、就位，不得倒置。
（3）單體設(shè)備就位時，應按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書要求，正確進行定位。
4、潔凈室（區(qū)）內(nèi)純水末端處理設(shè)備的安裝，應符合下列要求：
（1）純水管道接管，應在純水系統(tǒng)安裝后經(jīng)試驗及試運轉(zhuǎn)合格后連接。
（2）接管、接線后，應按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書進行試運轉(zhuǎn)。
5、藥品和保健品等生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的安裝，應符合下列要求：
（1）根據(jù)使用特點和工程設(shè)計文件要求，準確選擇管路材質(zhì)、閥門、附件，并不得對水質(zhì)產(chǎn)生污染和引起腐蝕或損傷。
6、管道系統(tǒng)的試驗、試運轉(zhuǎn)，應符合下列要求：
（1）管道系統(tǒng)的試驗應按工程設(shè)計文件要求進行水壓試驗。
（2）管道系統(tǒng)的試驗、試運轉(zhuǎn)，通常不包括末端處理裝置等。
（3）試驗合格后，以同等水質(zhì)的純水進行清洗，直至在管路末端無雜質(zhì)、污染物為合格。
（4）有特殊要求的純水系統(tǒng)，應按設(shè)計要求進行脫脂、清洗、鈍化、合格后，并按規(guī)定進行消毒滅菌。
（5）純水水質(zhì)試驗，以本系統(tǒng)同樣水質(zhì)的純水進行試驗，水質(zhì)分析采樣日應為水質(zhì)要求嚴格且距離長的用戶末端處：取樣時間間隔為2-4h，以系統(tǒng)的始端、末端的水質(zhì)相同為合格。
7、管道清洗應符合下列要求：
（1）管道清洗先以清潔水沖洗，末端檢查無雜物后，以同等水質(zhì)的純水清洗。
（2）清洗時，應關(guān)斷所有接至單體設(shè)備的閥門，管道系統(tǒng)的過濾器濾芯應卸下，待清洗合格后原樣恢復。
（四）化學品供應設(shè)施的安裝
1、本節(jié)適用于潔凈廠房中工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)所需的酸、堿、有機物質(zhì)等化學品供應設(shè)備、輸送管路系統(tǒng)的安裝施工質(zhì)量驗收。
2、化學品供應設(shè)施安裝前，應按設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書的要求或合約規(guī)定檢查設(shè)備、容器、閥門和附件的完整性和密封性等，并作檢查記錄。
3、化學品供應設(shè)施中的各類泵的安裝施工應符合現(xiàn)行國家標準《壓縮機、風機、泵安裝工程施工及驗收規(guī)范》GB 50275的規(guī)定。
4、潔掙室（區(qū)）內(nèi)化學品輸送管道系統(tǒng)的閥門箱等的安裝，應符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書，并作好檢查記錄。
（2）就位安裝應按工程設(shè)計文件、產(chǎn)品說明書要求進行，并檢查接管、接線方位的正確性。
（3）各種管道的連接，應在所在系統(tǒng)吹掃或清洗合格后進行。
5、化學品供應設(shè)施的容器、管道及其閥門、附件的材質(zhì)，應符合工程設(shè)計文件要求。
6、容器的搬運、安裝就位，應符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）前，應進行清潔，符合要求后從規(guī)定的搬入口運入。
（2）容器搬運，應根據(jù)容器結(jié)構(gòu)、規(guī)格尺寸及接管配置狀況，進行可靠的固定，不得倒置。
（3）就位前，檢查基礎(chǔ)平整度、高度，基礎(chǔ)表面的水平度不得大于2%，標高偏差不大于2mm。
（4）容器各接管中心與基礎(chǔ)面上的基準線對準、測量，其允許偏差為3mm。
（5）容器安裝就位后的垂直度，不應大于2‰。
7、化學品供應設(shè)施的低碳不銹鋼管、PE管、PVDF管等的管道系統(tǒng)安裝施工見相關(guān)規(guī)定。
8、管道吹掃或清洗，應符合下列要求：
（1）按各種化學品供應系統(tǒng)，分別在安裝完成后分系統(tǒng)進行吹掃或清洗。
（2）吹掃或清洗宜采用干燥壓縮空氣或純氮或清潔水，吹掃介質(zhì)壓力為0.2-0.3MPa：吹掃管道應設(shè)置過濾精度高的過濾器。
（3）吹掃清洗時，應關(guān)斷所有接至各類容器的閥門；管道系統(tǒng)的過濾器濾芯，流量計應卸下，待吹掃后按原樣恢復。
（4）各系統(tǒng)的吹掃應反復多次沖擊進行，吹掃時間不宜少于2.0h，并以濕的白色濾紙或白布或涂有白色漆的靶板放在吹掃氣排出口，經(jīng)5min后檢查微粒狀況。不合格時，繼續(xù)吹掃，直至合格。
9、管道系統(tǒng)的試驗、試運轉(zhuǎn)應符合下列要求：
（1）管道系統(tǒng)的試驗應按工程設(shè)計文件要求進行強度試驗、氣密性試驗，金屬管道的試驗方法參照現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB50235的規(guī)定進行。
（2）管道系統(tǒng)的試驗、試運轉(zhuǎn)，通常不包括各類容器、泵類等設(shè)備。
（3）承壓管道應進行強度和嚴密性試驗，強度試驗的試驗壓力為設(shè)計壓力的1.5倍，嚴密性試驗的試驗壓力為設(shè)計壓力的1.15倍。非承壓管道應進行滿水試驗。
（4）試驗合格后，以純水或氮氣進行清洗吹掃，直至末端無雜質(zhì)、污染物為合格。