一、無(wú)塵室用材的選擇
1.必須仔細(xì)選擇無(wú)塵室的各種用材，確保它們不會(huì)對(duì)室內(nèi)造成污染。無(wú)塵室內(nèi)經(jīng)常使用的材料與設(shè)備舉例如下：
1)生產(chǎn)中使用的材料：在微電子工業(yè)中使用的硅晶片；
2)產(chǎn)品包裝材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預(yù)制的盒子等；
3)工藝設(shè)備和機(jī)器；
4)對(duì)設(shè)備和機(jī)器進(jìn)行維修、校準(zhǔn)、修理的工具以及轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備的潤(rùn)滑劑等；
5)人員服裝，如潔凈工作服、手套、指套、口罩、頭罩等；
6)無(wú)塵室清潔用品，如抹布與拖把；
7)消耗性用品，如書寫紙張、圓珠筆、標(biāo)簽、棉簽。
在大多數(shù)無(wú)塵室中粒子和纖維都是環(huán)境污染的主要來(lái)源。所以，應(yīng)避免在生產(chǎn)工藝中使用容易破損或散發(fā)粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應(yīng)避免使用。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，產(chǎn)品表面的化學(xué)品和空氣環(huán)境中的某些氣體分子可能形成的化合物，會(huì)沉積在半導(dǎo)體的表面上，它們可能影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至損壞半導(dǎo)體芯片。
在一些無(wú)塵室中，那些無(wú)法將靜電不斷地傳導(dǎo)開的材料，可能會(huì)因?yàn)殪o電荷的積累和放電使那些對(duì)靜電敏感產(chǎn)品會(huì)受到損壞。此外，靜電還會(huì)使材料產(chǎn)生靜電吸附效應(yīng)而吸附粒子，造成污染問(wèn)題。
選擇用于無(wú)塵室內(nèi)的生產(chǎn)材料，不僅僅要著眼于適合于生產(chǎn)工藝，而且也應(yīng)關(guān)注是否有可能產(chǎn)生污染。顯然對(duì)那些既可能構(gòu)成污染，但又是生產(chǎn)所需的材料和物品，只有在缺之不可的情況下才能使用，或只有在已經(jīng)充分認(rèn)識(shí)到了這些材料產(chǎn)生污染的問(wèn)題，并考慮了其他替代材料但又確實(shí)都不適合后，才可使用。
2.以下所列舉的部分乃至全部物品，因其會(huì)造成無(wú)塵室的嚴(yán)重污染，根據(jù)產(chǎn)品對(duì)污染的敏感性不同，一般禁止在無(wú)塵室中使用。
1) 非無(wú)塵室紙，如果一定要使用普通紙，應(yīng)將其放入塑料袋內(nèi)或采用雙面熱塑；
2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染無(wú)塵室環(huán)境的化學(xué)品、纖維頭書寫筆或者會(huì)劃紙的圓珠筆、修改液；
3) 用低碳鋼或其他會(huì)生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品；
4) 用機(jī)器加工或處理時(shí)會(huì)冒煙或破損的物品；
5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品；
6) 研磨材料或粉末、產(chǎn)生氣溶膠的瓶瓶罐罐；
7) 不適合于在無(wú)塵室中使用的一次性物品，如棉簽、膠帶、標(biāo)簽；
8) 無(wú)塵室人員不得將個(gè)人物品帶入無(wú)塵室內(nèi)。
二、外部供應(yīng)的物品及其包裝
1.外供物品宜在潔凈環(huán)境中產(chǎn)生
供應(yīng)無(wú)塵室的物品要求在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)，其潔凈度標(biāo)準(zhǔn)宜與產(chǎn)品所供應(yīng)的無(wú)塵室相同。如果外部供應(yīng)物品交付時(shí)不能達(dá)到適當(dāng)?shù)那鍧嵥疁?zhǔn)，則必須在無(wú)塵室中對(duì)其加以清潔，但這樣做的效果可能差些。有越來(lái)越多的公司在潔凈環(huán)境中制造供應(yīng)無(wú)塵室生產(chǎn)所需的零部件，無(wú)塵室管理人員應(yīng)該向本企業(yè)采購(gòu)部門強(qiáng)調(diào)，要關(guān)注無(wú)塵室物品供應(yīng)商的生產(chǎn)環(huán)境。應(yīng)盡量選擇質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，又是在相應(yīng)潔凈環(huán)境中生產(chǎn)的無(wú)塵室用品，以保證本企業(yè)潔 凈室的潔凈度和減少清潔外供物品的耗費(fèi)。
參觀考察供應(yīng)商的生產(chǎn)設(shè)施并檢查其生產(chǎn)環(huán)境是很必要的。外供物品生產(chǎn)廠家可能并不熟悉無(wú)塵室技術(shù)。所以，對(duì)他們的生產(chǎn)工藝的一些簡(jiǎn)單建議和改進(jìn)，就可能產(chǎn)生不錯(cuò)的效果。即使制造廠家不具備潔凈生產(chǎn)環(huán)境，但只要有較高水平的潔凈管理?xiàng)l件，使用無(wú)塵室用的手套、抹布、不起毛的服裝等，也可大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
2.外供物品的包裝材料
應(yīng)注意產(chǎn)品的存儲(chǔ)和包裝。如果加工的產(chǎn)品從生產(chǎn)設(shè)備上取下后立即用合適的潔凈包裝方式包裝好，則周圍較差的生產(chǎn)環(huán)境對(duì)產(chǎn)品的影響就可以降至zui小。
外供物品的包裝方法和包裝材料必須考慮所供應(yīng)的無(wú)塵室的潔凈度等級(jí)，包裝的尺度、外形均應(yīng)符合貯藏、運(yùn)輸、開箱過(guò)程中防污染的要求，對(duì)包裝材料的主要要求有以下幾點(diǎn)：
1)包裝材料的無(wú)污染性：要求包裝材料本身不產(chǎn)生粒子、纖維、污染氣體及蒸汽等， 不明顯地帶靜電，不與包裝品產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)；
2)包裝材料必須使用能夠清潔到包裝物品所要求的潔凈度的材料；
3)材料的強(qiáng)度及耐久性：包裝材料應(yīng)承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證所要求的密封性，避免運(yùn)輸、存放過(guò)程中破損而污染，以致將污染帶入無(wú)塵室中。
無(wú)塵室外供用品的良好包裝，不僅可以避免產(chǎn)品在運(yùn)輸途中的損壞，也可以zui大限度地避免產(chǎn)品受到外部環(huán)境的污染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預(yù)制的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比，粒子、纖維、化學(xué)污染較少。塑料污染的大小取決于所使用的塑料種類、制造方法以及包裝方式。所以，對(duì)所用塑料包裝是否適宜也要進(jìn)行檢驗(yàn)。有些塑料會(huì)產(chǎn)生靜電，從而可能損壞產(chǎn)品。如果使用防靜電塑料，它對(duì)粒子及纖維的 吸附作用也較小，因此也更潔凈。如果需要控制分子污染的話，則有些塑料包裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。
3.外供物品的包裝方式
還要考慮的是需要幾層包裝。如果無(wú)塵室用的物品采用的是多層包裝，就可以在其運(yùn)往無(wú)塵室的過(guò)程中一次打開一層逐步拆裝，這就可以保證物品送至無(wú)塵室時(shí)是較潔凈的。對(duì)外包裝用真空吸塵器吸掃外表面及用潮濕抹布擦拭，有助于保持其清潔，特別是在將產(chǎn)品運(yùn)往無(wú)塵室的開始階段，尤其如此。隨著產(chǎn)品逐步進(jìn)入無(wú)塵室，外包裝也變得越來(lái)越潔凈，相對(duì)而言外包裝的清潔工作就顯得不那么必要了。
包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同的用途、材料傳遞氣閘室的不同設(shè)計(jì)等使得包裝方法也有很大區(qū)別。所以，無(wú)塵室的管理人員必須規(guī)定適用的包裝材料，規(guī)定所需物品在進(jìn)入無(wú)塵室的過(guò)程中對(duì)包裝進(jìn)行清潔和打開各層包裝的規(guī)程。
三、通過(guò)氣閘室傳遞物品和小件設(shè)備
任何無(wú)塵室都不免要和其他低潔凈級(jí)別區(qū)或非潔凈區(qū)發(fā)生物品傳遞的情況，減少傳遞過(guò)程中污染物的侵入是重要的日常管理工作。通常使用氣閘室、緩沖間以避免無(wú)塵室外的空氣直接進(jìn)入無(wú)塵室內(nèi)。在氣閘室的兩個(gè)門均關(guān)閉時(shí)，從外走廊在開門時(shí)侵入的污染以及使用氣閘室的人所散發(fā)出的污染，均被氣閘室的送風(fēng)所稀釋。材料傳遞氣閘室的兩個(gè)門如同人身凈化的吹淋室一樣，一般都是聯(lián)鎖的。這樣就可以確保一扇門關(guān)閉之前另一扇門是不能打開的，可采用電氣聯(lián)鎖，也可以是機(jī)械聯(lián)鎖。這樣就可以防止外部較低潔凈級(jí)別或非受控區(qū)的空氣直接進(jìn)人無(wú)塵室。粘墊則放在氣閘室人口處，或者氣閘室內(nèi)。粘墊的作用是防止鞋底或推車輪子上粘附的污染轉(zhuǎn)移到無(wú)塵室內(nèi)。氣閘室也用來(lái)防止材料表面及其包裝上的污染物帶入無(wú)塵室。以下介紹了兩種通過(guò)氣閘室傳遞材料的方法。一種是“有臺(tái)”式材料物品傳遞氣閘室；另一種是“無(wú)臺(tái)”式材 料物品傳遞氣閘室?？筛鶕?jù)所傳遞的材料物品及傳遞的安全性選用。
1.帶傳遞臺(tái)的氣閘式傳遞室
“有臺(tái)”式材料物遞氣閘室是將供應(yīng)品安全地傳遞進(jìn)無(wú)塵室的方法之一。這種方式就 是由傳遞臺(tái)將氣閘室分成“較臟”與“清潔”兩個(gè)區(qū)，這種方法適用于傳遞較輕、可以由人力搬動(dòng)的材料和設(shè)備。
使用傳遞臺(tái)傳遞物品的方法如下：
1)清潔傳遞臺(tái)：先將非受控區(qū)一側(cè)的門打開，搬運(yùn)材料或設(shè)備的人員，從較低潔凈級(jí)別或非受控區(qū)進(jìn)入氣閘室。氣閘室地面鋪有粘墊或粘毯，這樣，從外面地板向內(nèi)轉(zhuǎn)移的 污染就可以zui少。搬運(yùn)人員按規(guī)定方法對(duì)傳遞臺(tái)進(jìn)行清潔，必要時(shí)對(duì)其進(jìn)行消毒，進(jìn)行清潔工作時(shí)要注意，較長(zhǎng)的傳遞臺(tái)面被分為兩個(gè)區(qū)域，靠無(wú)塵室一側(cè)為“清潔”區(qū)，靠較低潔凈級(jí)別或非受控區(qū)一側(cè)為“拆包”區(qū)。
2)送入傳遞物品并拆包：完成清潔工作后，搬運(yùn)人員將帶包裝的物品送人氣閘室。但不得把紙板箱的包裝材料帶入氣閘室內(nèi)，因?yàn)樗鼈儠?huì)散發(fā)較多粒子，易造成交叉污染。 將帶著塑料包裝的物品送人氣閘室后，將其放置在傳遞臺(tái)的“拆包”區(qū)一側(cè)，即所謂的 “帶包裝”側(cè)或“臟”側(cè)。隨即對(duì)包裝進(jìn)行清潔，然后拆開包裝。其具體清潔方法根據(jù)使用物品的無(wú)塵室的標(biāo)準(zhǔn)而定，別潔凈室要求“精潔凈”，一般無(wú)塵室要求則略低。然 后把物品放置于傳遞臺(tái)的另一側(cè)，即所謂的“包裝已拆”側(cè)或“潔凈”側(cè)。將物品從外部區(qū)域送人氣閘室內(nèi)的人員攜帶裝置外包裝的容器，關(guān)上通往外部區(qū)域的門，離開氣閘室。
3)氣閘室充分自凈：讓氣閘室處在無(wú)人狀態(tài)下數(shù)分鐘的時(shí)間，以便將污染降至這樣 的濃度：當(dāng)無(wú)塵室一邊的門打開時(shí)，無(wú)塵室不會(huì)受到大的影響。為實(shí)現(xiàn)這一目的，可安裝內(nèi)外門的聯(lián)鎖計(jì)時(shí)裝置或指示燈。當(dāng)無(wú)塵室側(cè)門自動(dòng)打開或指示燈點(diǎn)亮后，無(wú)塵室的人員進(jìn)人氣閘室，拿起物品后離開氣閘室。
2.無(wú)傳遞臺(tái)的傳遞區(qū)
如果需要將大的重型設(shè)備或機(jī)器進(jìn)出無(wú)塵室，則常常使用不帶傳遞臺(tái)的氣閘室。但不帶傳遞臺(tái)的氣閘室作為傳遞區(qū)使用時(shí)，其安全度一般低于帶傳遞臺(tái)的氣閘室。
其工作程序如下：拆除用紙箱等包裝的無(wú)塵室用品放在一清凈小車上。小車從外部的非受控區(qū)推入傳遞用氣閘室，人員隨即離開。來(lái)自無(wú)塵室的人員進(jìn)入氣閘室并取到供應(yīng)的材料。如果該材料 較重，不得不將小車推入無(wú)塵室。在將小車推人無(wú)塵室以前，必須在氣閘室內(nèi)對(duì)其進(jìn)行清潔。如果材料不那么重的話，則可將材料轉(zhuǎn)移到從無(wú)塵室推過(guò)來(lái)無(wú)塵室的材料轉(zhuǎn)運(yùn)小車上。清潔或拆除材料的包裝，或先清潔再拆除包裝。然后，將載有材料的潔凈小車推入無(wú)塵室，無(wú)塵室的門隨后關(guān)閉。如果有物品需要帶出，外來(lái)的小車可暫時(shí)留在氣閘室。如果有更多的供應(yīng)物品需要運(yùn)入，外來(lái)的小車即可離開氣閘室。當(dāng)把無(wú)塵室的小車推人無(wú)塵室前，可以考慮使用無(wú)塵室粘墊或粘毯清除小車輪子上的污染物。
四、無(wú)塵室固定設(shè)備的進(jìn)入、安裝與維修
對(duì)于那些進(jìn)入無(wú)塵室就位后就同定不動(dòng)或相對(duì)同定的大型設(shè)備，例如無(wú)塵室生產(chǎn)工藝用的自動(dòng)機(jī)械加工設(shè)備、隔離性裝置、排風(fēng)罩等，這類固定設(shè)備通常處在無(wú)塵室關(guān)鍵工序 的周圍，它們一旦被安裝到位，再次移動(dòng)不僅十分困難，并對(duì)無(wú)塵室的環(huán)境條件也影響較大。對(duì)于這類無(wú)塵室的大型設(shè)備，首先要求供貨商在生產(chǎn)制造時(shí)，務(wù)必在潔凈環(huán)境中，而且其包裝材料、方法也應(yīng)符合無(wú)塵室的要求。
1.固定設(shè)備進(jìn)入的程序
為了避免發(fā)生大型固定設(shè)備進(jìn)入“動(dòng)態(tài)”無(wú)塵室，也就是說(shuō)無(wú)塵室已投付正式運(yùn)行， 還要進(jìn)入大型固定設(shè)備，應(yīng)該在管理計(jì)劃中盡可能排出。因?yàn)樵谶@種特殊情況下，無(wú)塵室按ISO14644-2 “證明持續(xù)符合ISO14644 -1的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)條件”的規(guī)定要重新認(rèn)證無(wú)塵室，其工作是相當(dāng)繁雜的。
正常情況下，通常是在空態(tài)或靜態(tài)條件下將固定設(shè)備送入。把設(shè)備送入無(wú)塵室時(shí)，應(yīng)該關(guān)注的問(wèn)題是：整個(gè)過(guò)程都不應(yīng)增加對(duì)環(huán)境的污染。
解決大型部件運(yùn)進(jìn)運(yùn)出的辦法就是設(shè)計(jì)一個(gè)大型物流氣閘室。它足以將每件設(shè)備運(yùn)進(jìn)運(yùn)出無(wú)塵室。如果條件允許，設(shè)計(jì)無(wú)塵室時(shí)，宜考慮采納這個(gè)方案。
設(shè)備進(jìn)出無(wú)塵室的另一設(shè)計(jì)方案是在無(wú)塵室的墻上開一組雙門，大得足以容納機(jī)器、大型設(shè)備件的通行。由于這樣的通道有可能直接與外走廊相通，因此必須鎖住，只有設(shè)備需要進(jìn)入時(shí)才打開。有些類型的墻板模塊可以取下來(lái)再安裝好又不對(duì)墻造成損壞，這樣的話，就不需要另開門洞。
2.可在無(wú)塵室內(nèi)墻一側(cè)建一個(gè)臨時(shí)氣閘室
所有準(zhǔn)備進(jìn)入的設(shè)備都要檢查在運(yùn)輸中有無(wú)損壞，有損壞的設(shè)備應(yīng)該在無(wú)塵室外隔離保護(hù)起來(lái)，待供貨商修復(fù)或另行處理。運(yùn)輸用的板條箱、硬紙板等應(yīng)該在鄰近無(wú)塵室的未受控區(qū)內(nèi)拆封，然后再運(yùn)進(jìn)受控環(huán)境。如果沒(méi)有包裝，則設(shè)備的所有表面都應(yīng)該予以清潔，然后再運(yùn)進(jìn)潔凈區(qū)。理想的方法是在設(shè)備氣閘室內(nèi)進(jìn)行設(shè)備清潔，當(dāng)設(shè)備過(guò)大時(shí)，宜于在氣閘室或無(wú)塵室附近臨時(shí)專門修建的房間內(nèi)拆掉zui外面的薄膜材料，作進(jìn)人無(wú)塵室前的清潔工作。
拆包步驟如下：
1)對(duì)設(shè)備外護(hù)層用吸塵設(shè)備進(jìn)行清潔，從頂部開始，向兩側(cè)擴(kuò)展；
2)用適當(dāng)?shù)那鍧崉┎潦猛庾o(hù)層；
3)從設(shè)備外護(hù)層的頂部撕開一個(gè)“工”型或“X”形切口，從頂部向下剝離外護(hù)層；
4)如果有多層包裝，每層包裝膜都要按2)、3)程序重復(fù)進(jìn)行；
5)所有運(yùn)送設(shè)備人員進(jìn)入氣閘室前都要穿上適當(dāng)?shù)臐崈舴?br />6)所有移動(dòng)用、搬運(yùn)用的設(shè)備都應(yīng)在氣閘室內(nèi)進(jìn)行清潔；
7)在打開氣閘室靠無(wú)塵室一側(cè)的門運(yùn)入設(shè)備前，應(yīng)先清潔氣閘室。
3.通過(guò)傳遞窗傳遞材料
除了物流氣閘室外，還有其他方法可將材料傳遞入無(wú)塵室內(nèi)供使用。將小型的物件傳 進(jìn)傳出無(wú)塵室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的工作方式與物流氣閘室相似，將物品傳遞入無(wú)塵室，大致通過(guò)下述的步驟：
1)在無(wú)塵室外面的人員打開傳遞窗的小門，對(duì)傳遞窗進(jìn)行清潔；
2)打開物品的一層包裝，將物品放入傳遞窗內(nèi)；
3)關(guān)閉傳遞窗的小門；
4)在傳遞窗另一邊的人員打開傳遞窗的內(nèi)門，取出物品。對(duì)取出的物品進(jìn)行清潔。 在污染控制要求嚴(yán)格的場(chǎng)合，則再打開物品的另一層包裝。傳遞窗一般都帶有電子或機(jī)械的聯(lián)鎖裝置，防止兩個(gè)小門被同時(shí)打開，這樣可防止外部空氣流入無(wú)塵室。有時(shí)將傳遞窗建在與地面水平的位置，便于較重的物品通過(guò)傳遞窗。
4.固定設(shè)備運(yùn)入的機(jī)械
如有可能，大型設(shè)備應(yīng)該臨時(shí)拆卸為能安全進(jìn)人無(wú)塵室的組件，使無(wú)塵室設(shè)備運(yùn)入過(guò)程的風(fēng)險(xiǎn)降低。因?yàn)檫@些大型裝設(shè)搬運(yùn)中，與無(wú)塵室圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面接觸時(shí)，可能發(fā)生磨損、撞傷，并產(chǎn)生污染。
所有用于大設(shè)備、組件的提升、牽引或定位的設(shè)備，在進(jìn)入無(wú)塵室前必須*清潔。這類設(shè)備多數(shù)不是專為無(wú)塵室使用而設(shè)計(jì)、制造的，應(yīng)*地檢驗(yàn)有無(wú)膜屑，表面剝落狀況或不宜進(jìn)入無(wú)塵室的材料。
通常宜用與無(wú)塵室級(jí)別相適應(yīng)的塑料薄膜或帶子包裹或密封這些設(shè)備的外表面。設(shè)備如橡膠輪，宜用無(wú)塵室塑膠帶包嚴(yán)，以免在地面上下橡膠或塑料微粒。
5.固定設(shè)備的安裝程序
zui有效的措施是在設(shè)備安裝階段用臨時(shí)的隔墻或隔斷把設(shè)備所在位置與無(wú)塵室隔離開來(lái)。為不妨礙設(shè)備安裝，在設(shè)備周圍應(yīng)留出足夠的空間，但同時(shí)也要注意隔離區(qū)空間適度，不宜過(guò)大。操作程序及其他注意事項(xiàng)如下：
1) 設(shè)備應(yīng)盡可能通過(guò)服務(wù)通道或其他非關(guān)鍵區(qū)（non-criticalarea)進(jìn)人隔離區(qū)（dis- olation area),如不可能則應(yīng)采取措施盡量減少污染。
2) 該隔離區(qū)的氣壓相對(duì)于周邊應(yīng)維持中性或負(fù)壓。*封閉的隔離區(qū)則應(yīng)該截?cái)鄥^(qū)內(nèi)的潔凈空調(diào)送風(fēng)，以減少安裝時(shí)產(chǎn)生的污染物向外擴(kuò)散。 
3) 應(yīng)該事先制定計(jì)劃，明確對(duì)隔離區(qū)和周圍區(qū)域監(jiān)控的方法和頻率，確保能及時(shí)發(fā)現(xiàn)污染物由隔離區(qū)向外滲透的情況。
4) 設(shè)備就位后，在架設(shè)各種動(dòng)力設(shè)施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時(shí)，應(yīng)采取措施控制操作過(guò)程產(chǎn)生的煙氣和殘?jiān)?，避免污染周圍的無(wú)塵室，也有助于減輕拆除隔斷時(shí)的清潔工作量。
5) 在設(shè)備安裝工作完成后，清除隔離區(qū)內(nèi)的污染，墻、地面、設(shè) 備等所有表面都要用真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設(shè)備護(hù)板后面和下面區(qū)域的清潔。
6) 在隔離區(qū)清潔工作完成后，可以進(jìn)行設(shè)備的試運(yùn)行和設(shè)備性能的初步測(cè)試，但zui后驗(yàn)收的測(cè)試，則需要*具備無(wú)塵室的條件方可。
7) 經(jīng)仔細(xì)分析，選定對(duì)無(wú)塵室內(nèi)的正常工作干擾zui少的時(shí)間拆除隔斷墻。在小心地拆除隔斷墻的同時(shí)，隔離區(qū)內(nèi)原被臨時(shí)阻斷的送風(fēng)口，開始恢復(fù)送入潔凈空氣。此過(guò)程中，宜于隨時(shí)監(jiān)測(cè)周邊離子濃度的變化。
8) 清理隔斷后，設(shè)備所處位置恢復(fù)無(wú)塵室正常狀態(tài)，開始對(duì)設(shè)備內(nèi)部和關(guān)鍵工序部位進(jìn)行進(jìn)一步清潔和作投人使用的準(zhǔn)備。
9) 對(duì)設(shè)備所有內(nèi)腔和所有與產(chǎn)品接觸表面，也包括產(chǎn)品裝卸的表面，都要進(jìn)行擦拭， 使之達(dá)到要求的潔凈度水平。設(shè)備清潔順序應(yīng)是從頂?shù)降?。如果清潔過(guò)程中有顆粒物散出，則較大的粒子，在重力作用下將落到設(shè)備底部或地面。
10) 再次清潔設(shè)備外部，其順序也是從頂至底。
11) 必要時(shí)，應(yīng)檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵區(qū)域的表面粒子情況。
6.固定設(shè)備的維護(hù)與維修
任何設(shè)備都需要定期維護(hù)或臨時(shí)維修。對(duì)此項(xiàng)工作的指導(dǎo)原則是：無(wú)論設(shè)備進(jìn)行維護(hù)或維修時(shí)，都不能造成對(duì)無(wú)塵室的污染。維護(hù)、維修工作完成后要清除設(shè)備外表面的污染，按工藝要求，必要時(shí)還要清除內(nèi)表面的污染。
1)如有可能，凡要進(jìn)行維修的設(shè)備應(yīng)先移出無(wú)塵室再維修，以減少污染產(chǎn)生的可能性；
2)如果必要，應(yīng)將需要維護(hù)的固定設(shè)備與周圍的無(wú)塵室隔離開來(lái)，再進(jìn)行主要的維護(hù)或維修?；蛘卟扇“阉姓谥圃斓漠a(chǎn)品移往適當(dāng)位置的措施；
3)正在維護(hù)、維修設(shè)備相鄰的無(wú)塵室區(qū)域，應(yīng)適當(dāng)加強(qiáng)監(jiān)控，以保證有效地控制污染；
4)在隔離區(qū)內(nèi)進(jìn)行維修、維護(hù)的工作人員，不應(yīng)與無(wú)塵室的生產(chǎn)或操作人員發(fā)生接觸；
5)進(jìn)人無(wú)塵室的維護(hù)或維修人員，應(yīng)遵循該潔凈區(qū)的規(guī)范，包括穿著適當(dāng)?shù)墓ぷ鞣熬S修完成后對(duì)該區(qū)和設(shè)備清潔應(yīng)達(dá)到要求；
6)如果技術(shù)人員需要躺下或爬到設(shè)備下面去維修，應(yīng)該先確定工作條件是否適宜，應(yīng)在進(jìn)行化學(xué)品、酸或生物危險(xiǎn)品有效中和或適當(dāng)處理后，再開始維修工作；
7)應(yīng)采取措施保護(hù)維修人員的潔凈服不接觸到設(shè)備上的潤(rùn)滑油或工藝用化學(xué)品等污染物，還應(yīng)避免潔凈服被設(shè)備、工作的銳邊撕裂、捅破；
8)進(jìn)行維護(hù)或維修工作用的全部工具、工具箱、小車等，在進(jìn)入無(wú)塵室前都應(yīng)*地清潔，不允許帶入任何銹蝕的工具。如果進(jìn)人生物無(wú)塵室，則還可能要求滅菌或消毒；
9)維修技術(shù)人員應(yīng)避免把工具、各種零配件、損壞的零部件或清潔用的工具材料等任何物品，放置在產(chǎn)品或工藝材料用的工作表面附近；
10)維修工作過(guò)程中應(yīng)該注意清潔，隨時(shí)進(jìn)行清潔工作，定期地更換手套，避免因手套破損，維修人員的皮膚接觸設(shè)備潔凈表面的情況發(fā)生；
11)如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的非無(wú)塵室手套，那么這些手套應(yīng)符合潔凈室要求或另套一副無(wú)塵室手套；
12)如需進(jìn)行鉆、鋸作業(yè)時(shí)，應(yīng)使用的罩蓋，把工具和進(jìn)行鉆、鋸的區(qū)域遮蔽起來(lái)，同時(shí)使用無(wú)塵室真空除塵器，及時(shí)吸走揚(yáng)塵。
13)在地面、墻面、設(shè)備側(cè)板或其他表面鉆孔后，留下的縫隙、孔洞，要采取密封措 施，如用填料、粘合劑和特殊制造的板堵塞，以防止污染物經(jīng)孔洞、縫隙擴(kuò)散到無(wú)塵室內(nèi)。